摘要：高效性、轻型化是未来单体太阳电池的发展方向。采用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）法制备高效Ga In P/Ga As/Ge正向晶格匹配三结砷化镓外延片,先采用机械磨削方式减薄到一定厚度,再通过氢氟酸、双氧水和水的混合液将衬底减薄至120、100、80μm,最薄至50μm。设计新型背电极,解决超薄片翘曲问题。通过以上手段制备成不同厚度和不同面积的砷化镓太阳电池,利用厚度50μm的外延片,制备出最大面积为12.25 cm2的太阳电池,其光电转换效率为29.52%（AM0,25℃）。利用厚度80μm的外延片,制备出最大面积为30.18 cm2的太阳电池,其光电转换效率为29.7%（AM0,25℃）。经过温度冲击、焊点拉力和稳态湿热等可靠性试验考核,均满足要求。

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