杂志简介:《数字制造科学》杂志经新闻出版总署批准,自2003年创刊,国内刊号为42-1693/TP,是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份季刊,致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:研究报告、文献综述、简报、专题研究
作者:潘国顺; 雒建斌; 路新春; 郭丹; 段芳莉; 徐进; 陈入领; 张伟; 胡元中 刊期:2011年第04期
报告中国国家重点基础研究发展计划(973计划)项目《高性能电子产品设计制造精微化、数字化新原理和新方法》中有关于原子级光滑表面制造的基础研究中所取得的进展和阶段性成果。包括CMP的若干关键技术的突破,化学机械抛光的机理研究,CMP中纳米粒子行为的计算机模拟和实验研究。开展原子级光滑表面制造和化学机械抛光开展的实验研究,理论分...