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新型纳米压印光刻技术的研究和应用

作者:屈新萍 复旦大学信息科学与工程学院
纳米压印   光刻技术   应用   大规模集成电路   纳米技术  

摘要:纳米压印(nanoimprint)这个词汇从1995年发明到现在,目前还并未被大多数学者和人们所认识。让我们来解读一下纳米压印。纳米,已经越来越走进我们的生活,随着纳米技术的大量应用,纳米领域向我们敞开了一个神奇、美妙的世界。拜电视宣传所赐,越来越多人知道我们使用的电脑里Intel双核CPU采用的芯片是“45纳米技术”.这个技术就是目前大规模集成电路生产技术。

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