作者:李从奇; 陈娟 期刊:《信息通信技术与政策》 2006年第03期
全光网一直被人们认作是通信网的未来理想,在2001年的技术泡沫破灭之后,全光网从理论研究焦点转到一种相对停滞状态。但随着液晶、MEMS技术的发展以及WB,WSS等可配置光器件的成熟.全光网再次成为焦点。本文从全光网起源背景、现状、发展趋势及全光网有待解决的技术问题入手,阐述了对全光网发展趋势的认识。
作者:李书明; 史文琪; 齐萨仁; 杨国勇; 蔡勇 期刊:《半导体技术》 2019年第12期
通过在悬栅状微结构支架上涂覆银纳米线,制备出亚微米级孔径的微电子机械系统(MEMS)过滤芯片,并研究了该芯片的颗粒过滤性能以及相关影响因素。利用感应耦合等离子体(ICP)深硅刻蚀工艺,在二氧化硅片上双面刻蚀形成悬栅状结构。随后,利用分散液中银纳米线的均匀分布性和高比表面积,将高长径比的银纳米线均匀地涂覆到此结构的亲水性二氧化硅层上。干燥后,在重力及液体挥发作用下银纳米线和支架层紧密贴合,制成覆盖银纳米线过滤层的硅...
作者:申玮; 张文君; 廉宇琦; 张国军; 杨华; 薛晨阳; 王任鑫 期刊:《微纳电子技术》 2019年第11期
国外的剪切流传感器已经趋于成熟,但仍存在测试信息量单薄、空间分辨率不高和价格昂贵的缺点。提出了一种新型高分辨率微电子机械系统(MEMS)湍流传感器,通过MEMS工艺的微结构实现湍流传感器的高分辨率探测,同时凭借Parylene真空气相沉积技术来实现传感器在海中的绝缘性和抗腐蚀性。经过5~45℃的高低温循环实验,验证了MEMS湍流传感器在复杂环境中的可靠性,并通过实验测量得到电压形式的湍流数据。
作者: 期刊:《中国质量与标准导报》 2016年第11期
2016年8月25日,IEC正式了由我国主导制定的第一项微机电系统(MEMS)领域国际标准,标志着我国MEMS领域国际标准化工作实现了零的突破。1微机电系统及加工技术MEMS是指关键(部件)特征尺寸在亚微米至亚毫米之间,能独立完成机电光等功能的系统(GB/T 26111),也可称作微电子机械系统、微系统、微机械等。因具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等特点,使得MEMS在民用和军工方面都显现出了巨大的应用潜力,
作者: 期刊:《石油工业计算机应用》 2014年第02期
IDG讯 美国一名发明家Arturas Vaitaitis发明了一种智能纽扣,名叫Monbaby。这种纽扣可以附着到任何衣物上面,来持续监测并实时分析宝宝的睡眠模式。这个智能设备看起来像是一个大纽扣,其内置的MEMS(微电子机械系统)140bit加速度传感器可以追踪包括运动、宝宝睡姿、活动量、以及呼吸。Monbaby智能纽扣每秒记录五次测量结果,接着通过蓝牙4.0技术转播至你的配对智能手机app上。
本刊讯 日前从中科院上海微系统和信息技术研究所获悉,世界最大工程师组织——国际电气及电子工程师学会(IEEE),经提名和投票,推选在微电子机械系统中,有出色研究的该所研究员李昕欣,担任技术委员会委员。
Innovative Micro Technology,Inc.(IMT)日前正式宣布:其现已可提供8英寸(200mm)晶圆微电子机械系统(MEMS)工艺加工服务,同时还可以为MEMS行业发展提供丰富的其他资源组合。8英寸晶圆改变了MEMS器件制造的经济指标,每张晶圆可以产出大约为6英寸晶圆两倍数量的器件。
作者:甘云华; 徐进良 期刊:《中国科学院大学学报》 2005年第02期
基于热边界层中断技术,设计了一种新型的带有交错结构的、当量直径为155.3μm的微通道,以实现强化换热同时减小流动阻力的目的.以去离子水作为工质,在入口温度、加热功率及质量通量3个控制参数十分相近的工况条件下,在这种含有新型结构微通道的实验段,及含有常规结构微通道的实验段内,进行层流流动与换热的对比实验研究.结果表明,采用新型结构能减小微通道进出口压差,降低摩擦常数,并且能较好地强化换热,降低微通道壁面温度.
扼要介绍微电子机械系统的特征,在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。
<正>近年来,从半导体集成电路(IC)技术发展而来的MEMS(微电子机械系统) 技术日渐成熟。利用这一技术可以制作各种性能敏感的力学量、磁学量、热学量、化学量和微生物的微型传感器,这些传感器的体积和能耗小,可实现许多全
皓月当空,繁星点点。宇宙用光与影,远与近,大与小的巧妙结合,给我们呈现了一幅又一幅神秘而美丽的画卷。随着航天技术的发展,我们也利用卫星为太空注入了新的活力。近10余年,随着微纳技术及微电子机械系统技术的迅猛发展,纳型卫星技术得到迅速发展,并在诸多领域得到了广泛应用,而纳型卫星集群更是为未来更多的创新性应用提供了可能。
作者:韩光平; 刘凯; 王秀红 期刊:《西安理工大学学报》 2004年第02期
针对微电子机械系统(MEMS)在特征尺寸处于微米量级时呈现的特性与宏观机械不同,阐述了尺寸效应对MEMS基础理论研究的重要意义.研究了尺寸的相对性、绝对性以及尺寸效应的基本概念,讨论了几何尺寸效应和力尺寸效应以及其他一些重要物理量的尺寸效应,提出了广义尺寸效应及狭义尺寸效应,为MEMS创新设计及基础理论的系统性研究提出一个新的切入点.
作者:杨秀芸; 方新 期刊:《现代制造工程》 2004年第12期
微电子机械系统(MEMS)是一种新兴技术,它几乎影响着每一个科学技术领域,如交通、无线通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微电子机械系统来解决技术上的问题。简述了微电子机械系统技术的基础概念、所用材料、加工工艺等;并重点综述了该技术在光纤通信系统中的广泛应用。
作者:张文明; 孟光; 李鸿光 期刊:《振动工程学报》 2004年第Z2期
在微电子机械系统(MEMS)中,存在着固有非线性、多能域耦合产生的非线性和一些尚未引起注意的机械非线性.静电驱动作为一种有效的表面作用力,在MEMS中得到广泛应用,如静电驱动微电机、静电驱动谐振器、静电驱动加速度计等,但静电力本身存在着较强的非线性特性.针对MEMS静电微悬臂梁结构,建立系统的变电容式非线性动力学模型;采用谐波平衡法分析在参数激励和强迫激励耦合作用下系统的幅频响应特性,研究对于不同参数激励与强迫激励作...
微细尺度传热问题的工程背景来自于20世纪80年代高密度微电子器件的冷却和90年代出现的微电子机械系统中的流动和传热问题。它的特点是,当空间和时间尺度微细化后,出现了很多与常规尺度下不同的物理现象,其原因可以分为两大类:一类是连续介质的假定不再适用,另一类则是各种作用力的相对重要性发生了变化。
作者:刘焱; 李日东 期刊:《水利科技与经济》 2019年第08期
针对在〈100〉硅片上采用EPW各向异性腐蚀液制作U形悬臂梁工艺进行研究。因各向异性腐蚀使(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使U形悬臂梁凸角掩模下的硅受到侧向腐蚀。对(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面进行掩模补偿,实验制作出300μm×1200μm的U形悬臂梁。在此基础上,对相同尺寸U形悬臂梁和矩形悬臂梁采用ANSYS软件进行特性模拟,给出其应力分布的模拟结果。
作者:胡松祥; 王建; 史光华; 徐达; 周彪 期刊:《微纳电子技术》 2019年第08期
研究了一种新型的MEMS超宽带铜基微同轴传输系统。设计了特性阻抗为50Ω铜基微同轴传输线结构,其仿真电压驻波比(VSWR)在DC~110 GHz内低于1.15。且设计了可用于探针台测试和芯片金丝键合的地-信号-地(GSG)转接结构,仿真插入损耗低于0.1 dB。采用该微同轴结构和GSG转接结构设计了用于探针台测试的直通-反射-传输线(TRL)校准套件,利用薄膜工艺加工得到了铜基微同轴传输线及校准件实物,通过实验测试得到该微同轴传输线DC~40 GHz最大插...
作者:王晗; 徐青; 李珂; 陈池来 期刊:《微纳电子技术》 2019年第09期
车用汽油质量及泄漏问题严重影响人们的出行安全和生活环境。基于微电子机械系统(MEMS)工艺制备了高场不对称波形离子迁移谱(FAIMS)分析器,提出了基于FAIMS峰位置差异的不同标号汽油一维在线检测方法和基于离子迁移率非线性变化函数的二维在线检测方法。结果表明,分离电压范围1050~1110V为三种标号汽油的最佳一维鉴别条件。在该分离条件下,不同标号的汽油对应不同的峰位置。为进一步提高鉴别准确率,通过求解离子迁移率非线性变化函...
作者:陈婷; 吴康雄; 刘玉县; 何春华 期刊:《微纳电子技术》 2019年第08期
为了提高微电子机械系统(MEMS)陀螺仪的抗冲击能力,设计了一种抗冲击保护结构。通过建立陀螺仪结构双自由度冲击模型,推导出陀螺仪结构和冲击保护结构的冲击响应方程,分别对陀螺仪和冲击保护结构进行详细的位移与加速度响应的理论推导。根据理论推导在Matlab上对位移和加速度响应随影响因素的变化进行仿真分析,并对有无冲击保护结构的陀螺仪抗冲击能力进行对比分析。仿真分析表明增加冲击保护结构后陀螺仪的抗冲击能力至少提高了3...
作为美新半导体公司的董事长,42岁的赵阳花了4年时间开发出了世界上第一套CMOS流程上集成微机械系统的制造工艺与测试技术,并且研发与生产了20多种型号的加速度计传感器集成电路,他本人在美国拥有10项与微电子机械系统有关的专利。 这家年增长速度将近400%的高科技公司,刚刚被美国著名的《红鳟鱼》杂志评入亚洲未上市公司100强,在获得安永“新英格兰企业家”年度奖的赵阳带领下,美新半导体正在对传感器市场的巨擘博世、霍尼...