微纳电子技术

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Micronanoelectronic Technology

杂志简介:《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准,自1964年创刊,国内刊号为13-1314/TN,是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊,致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备

主管单位:中国电子科技集团公司
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
国际刊号:1671-4776
国内刊号:13-1314/TN
全年订价:¥ 244.00
创刊时间:1964
所属类别:科技类
发行周期:月刊
发行地区:河北
出版语言:中文
预计审稿时间:1-3个月
综合影响因子:0.44
复合影响因子:0.45
总发文量:1755
总被引量:5170
H指数:19
引用半衰期:4.2639
立即指数:0.0139
期刊他引率:0.9041
平均引文率:16.2222
  • 柔性可延展耦合电路互连结构频域与时域特性分析

    作者:王文惠; 潘开林; 范凯; 龚似明 刊期:2019年第08期

    串扰作为信号完整性的重要影响因素之一,在进行高速可延展电路设计时,需要对电路中互连结构之间的串扰进行分析,以验证结构的合理性。以耦合可延展通用互连结构为研究对象,在高速电路中运用有限元法对形变后的耦合可延展通用互连结构进行频域分析,研究了频率以及形变对电路中相邻导线间串扰产生的影响。利用频域分析得到的S参数建立时域分析的电...

  • 钙钛矿薄膜制备技术及其在大面积太阳电池中的应用

    作者:降戎杰; 张雅洁; 郭强; 赵春艳; 白一鸣 刊期:2019年第08期

    详细介绍了钙钛矿薄膜的各种制备方法,系统地探讨了各种制备工艺存在的优点和缺点。在此基础上,综述了大面积钙钛矿太阳电池的各种制备方法的国内外研究进展,并对钙钛矿太阳电池发展历程中的关键节点进行了总结。然后,结合当前的研究进展对钙钛矿太阳电池有待解决的关键性问题,如有毒金属的代替、电池的长期稳定性、大面积太阳电池制备的工艺难...

  • NaxMg0.2Zn0.8-xO纳米薄膜的光学性能

    作者:张舒婷; 端木庆铎; 王浚宇 刊期:2019年第08期

    采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上以二水乙酸锌(C4H6O4Zn·2H2O)、乙酸镁(C4H14-MgO8)、氯化钠(NaCl)为前驱体制备NaxMg0.2Zn0.8-xO纳米薄膜,借助扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、喇曼光谱及光致发光谱(PL)等手段,对NaxMg0.2Zn0.8-xO薄膜的晶格结构、表面形貌及光学性能进行表征及分析,研究了Na+不同掺杂浓度对NaxMg0.2-Zn0.8-xO薄膜的结构及...

  • 自组装Fe2O3超薄圆饼的制备及其可见光催化性能

    作者:杨敏敏; 李朋伟 刊期:2019年第08期

    采用水热法成功制备出厚度约为6 nm、直径为(90±10)nm的Fe2O3超薄圆饼结构。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、Brunauer-Emmett-Teller (BET)和紫外可见光分光光度计(UV-Vis)等测量手段分别对样品的结构、形貌、比表面积和光电性能进行表征,结果表明:Fe2O3超薄圆饼结构由平均直径为5.5 nm,比表面积高达256.2 m^...

  • 二维钙钛矿结构调控及光物理性能研究进展

    作者:苏剑峰; 牛强 刊期:2019年第08期

    传统的三维(3D)有机-无机卤化物钙钛矿经历了前所未有的快速发展。然而,它们对水分、光和热的固有不稳定性仍然是限制其商业化发展的关键问题。相比之下,新出现的二维(2D)钙钛矿因其巨大的环境优势而受到越来越多的关注。然而,对二维钙钛矿的研究还处于起步阶段,其结构和光物理特性仍有待深入探索。首先,介绍了二维杂化钙钛矿的结构;然后,对该结...

  • Ku频段Si基异质集成MEMS表面贴装型环行器

    作者:汪蔚; 翟晓飞; 李倩; 杨拥军 刊期:2019年第08期

    随着现代电子技术的发展,通信收发系统趋向小型化,对射频前端的环行器提出了小型化的迫切需求,微电子机械系统(MEMS)环行器与传统环行器相比具有尺寸小、精度高、功率高的优势。创新性地提出了一款基于MEMS工艺的可表面贴装使用的环行器,最终尺寸为6 mm×6 mm×2.6 mm,工作频率为14~18 GHz,器件损耗小于0.65 dB,隔离度大于18 dB,电压驻波比小于1.4...

  • MEMS陀螺仪抗冲击设计技术

    作者:陈婷; 吴康雄; 刘玉县; 何春华 刊期:2019年第08期

    为了提高微电子机械系统(MEMS)陀螺仪的抗冲击能力,设计了一种抗冲击保护结构。通过建立陀螺仪结构双自由度冲击模型,推导出陀螺仪结构和冲击保护结构的冲击响应方程,分别对陀螺仪和冲击保护结构进行详细的位移与加速度响应的理论推导。根据理论推导在Matlab上对位移和加速度响应随影响因素的变化进行仿真分析,并对有无冲击保护结构的陀螺仪抗冲...

  • MEMS铜基微同轴传输线性能仿真及测试

    作者:胡松祥; 王建; 史光华; 徐达; 周彪 刊期:2019年第08期

    研究了一种新型的MEMS超宽带铜基微同轴传输系统。设计了特性阻抗为50Ω铜基微同轴传输线结构,其仿真电压驻波比(VSWR)在DC~110 GHz内低于1.15。且设计了可用于探针台测试和芯片金丝键合的地-信号-地(GSG)转接结构,仿真插入损耗低于0.1 dB。采用该微同轴结构和GSG转接结构设计了用于探针台测试的直通-反射-传输线(TRL)校准套件,利用薄膜工艺加工...

  • 基于声表面波介质辅助输运微流体

    作者:章安良 刊期:2019年第08期

    提出了介质辅助下压电基片上微流体输运新方法,以避免声表面波(SAW)直接辐射引起的水溶液样品中水蒸发或潜在的生物大分子活性降低问题。小钢珠表面涂覆聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜,并放置于128°YX-LiNbO3压电基片上,微小水液滴进样于小钢珠与压电基片之间,确保小钢珠在声表面波作用下滑移。同时,对小钢珠上微流体的受力进行了理论分析。以红墨水...

  • 基于金银合金纳米线SERS活性基底的制备

    作者:王振雨; 曹小卫 刊期:2019年第08期

    首先采用液相软模板方法合成银纳米线,然后采用静电吸附法将带负电荷的银纳米线和带正电荷的金纳米颗粒组装形成金银合金纳米线。通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线能谱分析仪(EDS)对材料的形貌和成分进行表征,结果表明金纳米颗粒被均匀吸附在银纳米线的表面。之后将金银合金纳米线偶联到氨基化处理后的硅片抛光面上,组装得...

  • 具有紫外-可见光催化性能的片状SnO2/ZnO复合物的制备(英文)

    作者:李美霞; 刘志勇; 谢娟; 许永权; 杜红霞 刊期:2019年第08期

    以氯化锌、氯化锡和氢氧化钠为反应物,通过前驱体煅烧法成功制得了片状单分散SnO2/ZnO复合物。用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)及紫外-可见漫反射光谱(UV-Vis DRS)等多种手段对产物进行表征。以甲基橙(MO)和亚甲基蓝(MB)为目标降解物,研究了紫外-可见光照下所制SnO2/ZnO复合物的光催化活性。实验结果显示,SnO2/ZnO复合物较纯Zn...

  • 化学气相沉积可控制备超薄二维MoS2纳米片

    作者:郭宗亮; 魏爱香; 肖志明; 招瑜; 刘俊 刊期:2019年第08期

    采用化学气相沉积(CVD)技术,以硫粉和MoO3为反应剂、氩气为载气,在SiO2/Si衬底上制备超薄二维MoS2纳米片。采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、透射电子显微镜(TEM)、喇曼光谱和光致发光光谱测试分析技术,研究硫粉送入距离对超薄MoS2纳米片的形貌、结构和光学性质的影响规律。结果表明:硫粉送入距离为17~25 cm时,距离MoO31 cm的SiO2/S...

  • 纳米Si薄膜生长及其Monte-Carlo模拟

    作者:Hafiz; Shehzad; Ahmed; 赵红东; 韩铁成 刊期:2019年第08期

    在玻璃衬底到靶的不同水平距离W (0.5、0.8和1.3 cm)条件下,使用脉冲激光沉积(PLD)方法分别制备了纳米Si薄膜。扫描电子显微镜(SEM)结果显示,在三种样品上形成的纳米Si颗粒尺寸会随W的增加而增大。为了解释该现象,使用Monte-Carlo方法模拟了薄膜生长。对粒子相互作用范围α和最大行走步长进行实验和筛选,当α取2时,随着粒子在衬底上最大行走步长的...

  • 征稿通知第13届国际专用集成电路会议

    刊期:2019年第08期

    第十三届IEEE国际专用集成电路会议(ASICON2019)将于2019年10月290-11月1日在重庆希尔顿大酒店举行。这次会议旨在为VLSI电路设计者、ASIC用户、系统集成工程师、IC制造厂商、工艺和器件工程师以及CAD/CAEI具开发者提供一个国际论坛,介绍他们在各自领域获得的最新进步和研发成果。

  • 第十二届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知

    刊期:2019年第08期

    微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,第十二届“中国微纳电子技术交流与学术研讨会”定于2019年10月...