杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
杂志简介：《微纳电子技术》杂志经新闻出版总署批准，自1964年创刊，国内刊号为13-1314/TN，是一本综合性较强的科技期刊。该刊是一份月刊，致力于发表科技领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：技术论坛、材料与结构、MEMS与传感器、加工、测量与设备
作者：杨凯; 刁华彬; 赵超; 罗军 刊期：2019年第09期
近年来,随着氧化镓(Ga2O3)晶体生长技术取得突破性进展,氧化镓材料及器件的研究与应用成为国际上超宽禁带半导体领域的研究热点。综述了β-Ga2O3衬底的一些优点以及面临的挑战,重点介绍了如何实现良好的欧姆接触。围绕采用低功函数金属、表面预处理、衬底掺杂和引入中间层的方法,阐述了目前国际上金属/β-Ga2O3欧姆接触的最新研究进展。总结了不同...
作者：王文惠; 潘开林; 龚似明; 范凯 刊期：2019年第09期
针对柔性可延展电路由于不合理的互连结构设计和布局而造成的串扰问题,提出一种基于响应面法对柔性可延展电路互连结构进行设计与布局的方法.以柔性可延展电路中的通用互连结构为研究对象,通过正交实验和方差分析,筛选出对串扰存在显著性影响的因素.基于正交设计分析结果,运用中心复合实验设计法获得样本数据,利用ANSYS Electronic Desktop获得...
作者：李想; 何志群; 梁春军 刊期：2019年第09期
选用1,3-二巯基丙烷(DMP)作为添加剂加入到聚合物材料PBDB-T与非富勒烯材料ITIC的共混体系中,制备以PBDB-T∶ITIC作为活性层材料的体异质结聚合物太阳电池。实验发现,DMP可以有效地改善活性层的形貌,促进激子的产生与解离。DMP对聚合物的结晶形貌改善的作用较小,但对非富勒烯材料ITIC的结晶结构有序性的影响显著。将DMP加入活性层中,可使非富勒...
刊期：2019年第09期
中国电子科技集团公司第十三研究所从事半导体光电器件研制与生产30余年,拥有一条国际先进水平的工艺线,涵盖材料外延、圆片加工和器件封装等全套工艺,主要产品有大功率半导体激光器、高速半导体激光器和高速探测器。其中大功率激光器代表产品有连续/准连续阵列激光器、高亮度光纤耦合激光器和窄脉冲激光器,应用于固态激光器泵浦、光纤激光器泵...
作者：王波; 高楠; 郭艳敏; 尹甲运; 张志荣; 袁凤坡; 房玉龙; 冯志红 刊期：2019年第09期
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在4英寸(1英寸=2.54cm)蓝宝石衬底上制备了1.2μm厚的AlN背势垒的AlGaN/GaN/AlN双异质结高电子迁移率晶体管(HEMT)材料,其AlGaN势垒层表面粗糙度(RMS)、二维电子气(2DEG)迁移率以及HEMT材料的弯曲度都较为接近于常规的高阻GaN背势垒结构的HEMT材料。由于AlN晶格常数较小,具有AlN背势垒的HEMT材料受到了更大的...
作者：陈许龙; 张小萍; 谢占婷; 马元良 刊期：2019年第09期
提取了菠菜、藏红花、金银花、雪菊、山楂5种光谱吸收区间不同的植物染料,根据光谱吸收互补性的原则以不同类型、不同比例进行了混合,用于染料敏化太阳电池(DSSC)光阳极的协同敏化,测定了各种染料、染料与TiO2吸附后的UV-vis吸收光谱及不同染料敏化后的DSSC光电性能。实验结果表明:光谱吸收区间不同的染料混合后能有效拓宽光谱吸收范围和峰值吸...
作者：金敏慧; 王洁; 蔡金东; 吴文渊; 李以贵 刊期：2019年第09期
为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅静电梳齿驱动器模具。基于硅模具,利用热模压工艺制备PMMA微驱动器,再通过机械切削工艺释放制备好的PMMA微驱动...
作者：刘宁; 谭晓兰 刊期：2019年第09期
为了降低电容式石墨烯压力传感器的成本,对石墨烯压力传感器的结构与工艺进行研究,简化加工工艺步骤,设计并制作出石墨烯传感器样片,该传感器样片的灵敏度分为多个区间,最高可达608 MPa-1。首先,将石墨烯溶液制作成纸,利用雕刻工艺将石墨烯纸雕刻成为不同规格的平行叉指图形,并用聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜覆盖制作成为石墨烯压力传感器。然后,对...
作者：罗智杰; 范俊均; 陈统班; 谢淑婷; 刘双印; 周国富 刊期：2019年第09期
基于介电润湿(EWOD)效应的数字微流控技术是近十年来出现的一种能够在平面上操控体积为微升、纳升级别液滴的新技术。为了满足对数字微流控中液滴精准驱动与控制的迫切需求,结合现有的液滴定位方法的研究,设计了改进的等效电容模型,该模型方法在无输入参数下实现多液滴的定位。基于该液滴定位模型,提出了驱动参数的反馈优先级调整策略,最终实现...
作者：鲍海飞; 宋朝辉; 李昕欣 刊期：2019年第09期
采用自由落杆冲击法对悬臂梁型高量程加速度计(50000g)的横向响应进行研究。钢杆和铝合金杆作为冲击体与地面上放置的金属钢砧碰撞产生应力波作为激励源,用于表征加速度计的性能,其中加速度计固定在金属杆的顶端。该方法不仅可以测量加速度计敏感轴的灵敏度,同时也可以测试其横向响应。实验表明,加速度计的各向异性响应与加速度计的固有结构和冲...
作者：王晗; 徐青; 李珂; 陈池来 刊期：2019年第09期
车用汽油质量及泄漏问题严重影响人们的出行安全和生活环境。基于微电子机械系统(MEMS)工艺制备了高场不对称波形离子迁移谱(FAIMS)分析器,提出了基于FAIMS峰位置差异的不同标号汽油一维在线检测方法和基于离子迁移率非线性变化函数的二维在线检测方法。结果表明,分离电压范围1050~1110V为三种标号汽油的最佳一维鉴别条件。在该分离条件下,不同...
作者：许晓青; 李锁印; 赵琳; 梁法国; 孙虎 刊期：2019年第09期
论述了线距标准在扫描电子显微镜(SEM)类测量仪器校准中的重要性和作为标准物质的基本要求,指出了纳米线距标准物质的研制和表征在纳米量值溯源体系中的重要作用。通过材料选择、结构设计和制作工艺优化研制出了线距标称值为100nm的纳米线距标准样片。利用光学显微镜对样片的表面质量进行初检,利用CD-SEM对样片的表征考核区域进行了均匀性和长期...
作者：韩志国; 李锁印; 冯亚南; 赵琳 刊期：2019年第09期
针对接触式轮廓仪存在的探针沾污、探针缺陷、扫描位置不准的问题,采用半导体工艺技术在硅晶圆片上制备出探针状态检查样块。该样块具有探针沾污及缺陷检查图形和探针扫描位置检查图形,可实现探针针尖10个位置沾污和缺陷的检查以及偏移量为-150~150μm内探针扫描位置的检查。使用探针状态检查样块对一台型号为P-6的接触式轮廓仪进行了检查,实验结...
刊期：2019年第09期
主办单位国际电机与电子工程师协会北京分会(IEEE Beijing Section)复旦大学重庆大学承办单位复旦大学重庆大学支持单位IEEE CASS IEEE SSCS上海分支会IEEE EDS上海分支会 IET上海分会中国电子学会(CIE)第十三届IEEE国际专用集成电路会议(ASICON2019)将于2019年10月29日-11月1日在重庆希尔顿大酒店举行.这次会议旨在为VLSI电路设计者、ASIC用户...
刊期：2019年第09期
微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础.为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,第十二届“中国微纳电子技术交流与学术研讨会”定于2019年10月2...
影响因子：0.16
期刊级别：省级期刊
发行周期：旬刊
影响因子：0.9
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.64
期刊级别：部级期刊
发行周期：半月刊
影响因子：0.46
期刊级别：北大期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.47
期刊级别：部级期刊
发行周期：半月刊
影响因子：0.75
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
影响因子：1.92
期刊级别：北大期刊
发行周期：旬刊
影响因子：2.55
期刊级别：北大期刊
发行周期：旬刊
影响因子：0.7
期刊级别：省级期刊
发行周期：旬刊
影响因子：2.51
期刊级别：CSSCI南大期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.69
期刊级别：省级期刊
发行周期：双月刊
影响因子：0.91
期刊级别：统计源期刊
发行周期：半月刊