摘要：<正>近年来,从半导体集成电路(IC)技术发展而来的MEMS(微电子机械系统) 技术日渐成熟。利用这一技术可以制作各种性能敏感的力学量、磁学量、热学量、化学量和微生物的微型传感器,这些传感器的体积和能耗小,可实现许多全
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
热门期刊服务
Rare Metals 十万个为什么 Acta Mechanica Sinica Acta Metallurgica Sinica Chinese Medical Journal Numerical Mathematics Acta Mechanica Solida Sinica Biomedical and Environmental Sciences Chinese Journal of Mechanical Engineering Chinese Journal of Polymer Science Applied Mathematics and Mechanics Chinese Journal of Integrative Medicine