【免费】世界半导体设备的“十大”发展趋势-发表之家

世界半导体设备的“十大”发展趋势

作者：翁寿松无锡市罗特电子有限公司，214002

半导体设备世界垄断化发展趋势晶圆

摘要：本文指出了当前世界半导体设备的“十大”发展趋势，即设备与工艺互动化；设备加工晶圆大尺寸化；设备加工晶圆单片化；设备组合化；设备高精度化；设备全自动化；设备制造商垄断化；设备高价格化；设备研制联合化；设备用户化。

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