摘要：为适应凝聚态物理与相关交叉学科研究的需求,探索材料在纳米尺度下新奇的物理性质及在信息、能源、生物等领域的应用,促进纳米科学与技术领域的发展,物理所微加工实验室于2002年底建成,并开始提供微纳加工技术服务。
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