摘要：日前，北京大学和燕垣光伏合作开发60MW铜铟镓硒薄膜太阳能集电管项目。经过攻关，确立了以磁控溅射为主，硒蒸镀沉积为辅的技术工艺，成功解决了制备CIGS一系列关键技术和物理问题，并创立了三元叠层硒化法与预制层后处理硒化法制备CIGS薄膜的方法；系统优化了CIGS薄膜硒化与高温重结晶热处理工艺。

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