作者: 期刊:《智能建筑与智慧城市》 2019年第08期
近日,台积电(TSMC)推出了7nm深紫外DUV(N7)和5nm极紫外EUV(N5)制造工艺的性能增强版本。台积电全新N7P工艺采用与N7相同的设计规则,优化了前端(FEOL)和中端(MOL),可在相同功率下将性能提升7%,或者在相同的频率下降低10%的功耗。N5P工艺则可以在相同功率下使芯片的运行速度提高7%,或在相同频率下将功耗降低15%。
紫外深紫外非线性光学晶体材料作为一种重要的光电信息功能材料,已在航天、能源、工业制造、医学、科研等领域有广泛应用,探索和合成性能优异的新型紫外深紫外非线性光学晶体材料一直是功能材料领域的研究热点。
作者: 期刊:《工业和信息化教育》 2005年第09期
为帮助客户应对亚65纳米及45纳米技术节点上新产生的缺陷和成品率挑战.KLA-Tencor(KLAC)近日了最新的突破性明场晶片检测平台2800系列,它能有效地检测出所有工艺层上的最广泛的关键性缺陷。2800系列提供了超宽带(深紫外、紫外和可见光)波长检查功能,
作者:张颖; 兰玉琪 期刊:《工业设计》 2019年第04期
紫外线可以通过对细胞、病毒等单细胞微生物的照射,以破坏失去繁殖能力。利用紫外线杀菌具有安全、方便、无残留等优点,故应用范围相当广泛。本文以紫外线中深紫外技术为切入点,对深紫外杀菌进行了研究。结合目前的深紫外在产品设计中的应用进行分析与调研,对深紫外技术在产品设计的应用与扩展进行预测与建议。
近日,健康和卫生公司RayVio Corp.宣布其正在量产新款280纳米XD中等功率和XR高功率深紫外发光二极管(UVC LED),并建立行业领先的10 000小时寿命可靠性标准,这对消费者和医疗级解决方案的成功至关重要。XD和XR系列产品都采用标准3535 SMD封装,或者安装在金属基印刷电路板上,便于测试开发和产品集成。两款产品都已开始在全球销售。
中国科学院光电技术研究所镀膜团队成员、中国科学院青年创新促进会会员柳存定致力于分析球面镜片上薄膜性质和位置的关系.通过扫描电镜分析球面镜片上不同位置的薄膜结构,发现随着位置从中心到边沿,呈柱状生长的单层氟化物薄膜倾斜角度逐渐增大;通过计算机模拟,确认矢量生长模型可以较好地符合光刻机镀膜过程.研究结果显示薄膜微结构如柱状结构的倾角增大导致了折射率非均匀性从镜片中心到边沿逐渐增大.
全固态深紫外(175~200纳米)和短波紫外(200~300纳米)相干光源是国际光电子领域最重要的发展方向之一,在生命科学、材料科学、医疗、军事以及精密加工等方面具有重要的应用前景和巨大的市场需求。
作者:盖敏强; 王颖; 潘世烈 期刊:《物理学报》 2019年第02期
利用非线性光学(NLO)晶体材料和变频技术,可以把波长范围有限的激光光源扩展到紫外、深紫外区,这已成为深紫外光源的热点研究方向.然而,目前限制深紫外全固态激光器发展和应用的关键问题是缺乏能够在该波段进行频率转换并且产业化应用的NLO晶体材料.因此,该领域的各国科学家都在积极探索并发展新一代的深紫外NLO晶体材料.目前仅有KBe2BO3F2 (KBBF)晶体能够实现Nd:YAG的直接六倍频深紫外激光(波长为177.3 nm)输出.然而, KBBF晶体存...
作者:贾俊荣; 沈耀国 期刊:《人工晶体学报》 2018年第02期
通过高温自发结晶技术,制备了一种新型的磷酸盐晶体材料LiCs2Al(PO4)2。单晶衍射分析表明,该物质具有类分子筛结构。其中,四面体配位的LiO4、AlO4和PO4共顶点连接形成了三维框架,而Cs+离子填充在孔洞中。热分析表明,该物质具有较高的熔点并且呈现同成分熔融的特点。熔化后的样品用粉末衍射仪进行了物相鉴定,证实了热分析的推论。室温下的粉末漫反射光谱显示该物质紫外截止边在200 nm以下,第一性原理计算态密度,分析了光学特性起...
到目前为止,KBe2BO3F2(KBBF)被认为性能最优秀的深紫外透过的非线性光学材料,但是其晶体的层状生长习性严重限制了该物质的应用近期,一系列类KBBF构的物质被发现这些物质不但继承了KBBF物质优良的非线性光学特性,而且减弱了层状生长习性,
作者:吴立萍; 胡凡华; 王倩倩; 王菁; 王力元 期刊:《高等学校化学学报》 2017年第05期
聚对羟基苯乙烯和环己基乙烯基醚反应得到缩醛保护的聚合物.该聚合物易溶于常见的有机溶剂,具有较好的热稳定性,在248 nm处透明性良好.该聚合物可与聚对羟基苯乙烯-甲基丙烯酸金刚烷基酯及二砜光产酸剂等组成一种三组分正性化学增幅型深紫外光致抗蚀剂,初步研究了该抗蚀剂的感光成像性能.采用Kr F激光(248 nm)曝光,在较低的后烘温度下,显影得到分辨率为180 nm的线条图形.显影后的留膜率在99%以上.在光致抗蚀剂体系中引入对羟基苯...
作者:王福学; 叶煊超 期刊:《发光学报》 2017年第01期
为了研究AlGaN量子阱层和垒层中Al组分不同对AlGaN基深紫外发光二极管(LED)光电性能的影响,本文利用MOCVD生长、光刻和干法刻蚀工艺制备了AlGaN量子阱层和垒层具有不同Al组分的270/290/330nm深紫外LED,通过实验和数值模拟计算方法发现,量子阱层和垒层中具有低Al组分紫外LED的AlGaN材料具有较低的位错密度、较高的光输出功率和外量子效率。通过电流-电压(I-V)曲线拟合出的较大的理想因子(>3.5)和能带结构图表明,AlGaN深紫外LED的电...
作者: 期刊:《工业和信息化教育》 2007年第12期
近日,应用材料公司推出具有业界最高生产力的DUV(深紫外)亮场硅片检测工具UVision3系统,它能满足45nm前端制程和浸没式光刻对于关键缺陷检测灵敏度的要求。塞个新一代的系统为应用材料公司突破性的UVision技术带来了重要的进步,它将扫描硅片的激光束数量提升至3倍,使其生产速度比任何竞争对手的系统快40%。
作者:汪道友(编译) 期刊:《强激光与粒子束》 2006年第04期
据物理所近日消息,由中科院理化研究所承担的863计划新材料领域“新型深紫外非线性光学晶体材料和紫外、深紫外全固态激光器”课题,通过努力攻关,在深紫外谐波光全固态激光器的研制方面,已取得突破性进展,利用在国际上首次提出的并获得中、美两国专利的KBBF棱镜耦合技术,制作成功光接触KBBF-CaF2棱镜耦合器件,使用这-棱镜耦合器件,以直接倍频方法成功实现了深紫外谐波光输出的三个国际首创。
深紫外激光技术在物理、化学、材料、信息、生命,以及资源与环境等多个学科领域均有重大应用价值。2013年9月6日,由中国科学院承担的国家重大科研装备研制项目“深紫外固态激光源前沿装备研制项目”在北京通过验收。这一系列深紫外全固态激光源科学仪器设备的研制成功,使我国成为世界上唯一一个能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家。
由青岛杰生电气有限公司承担的国家863半导体照明工程重点项目“氮化镓-MOCVD深紫外LED材料生长设备”研制取得突破,我国首台具有自主知识产权的并能同时生长6片外延片的MOCVD设备研制成功。
作者:纪来奎; 文剑锋; 曹雪丽 期刊:《化工新型材料》 2016年第04期
利用催化化学气相沉积法,以镍纳米颗粒为催化剂,在550℃条件下催化分解乙炔,制备出高螺旋纯度的螺旋碳纳米管(HCNTs)。再用二氟化氙在220℃将其氟化得到氟化螺旋碳纳米管(F-HCNTs)。利用XPS研究了F-HCNTs中F含量及其与C的结合形式,考察了它们对HCNTs光致发光性能的影响。结果表明:F与C的结合形式主要有离子型和半离子型;F-HCNTs在深紫外区域有较强的光发射;半离子型的F掺杂可以增强F-HCNTs的深紫外光发射。
作者:侯岩雪 井西利 王明利 李源作 期刊:《燕山大学学报》 2012年第02期
利用含时密度泛函理论来研究深紫外针尖增强拉曼散射光谱的化学增强机制的报道,引发了许多关于紫外针尖增强拉曼散射的实验研究。本文通过含时密度泛函理论来计算铝3-蒽醌分子-铝3结在262 nm光能量激发下的拉曼光谱,结果表明该分子的拉曼光谱是针尖增强共振拉曼散射光谱,其化学增强因子为107。这表明在生物和材料领域,针尖增强共振拉曼散射技术可用于深紫外区域的指纹振荡光谱研究。
近日,青岛市“紫外LED产业化关键技术攻关”项目获得重大突破,由青岛杰生电气有限公司研发生产的深紫外LED发光强度超过2.0毫瓦,主要技术指标达到世界领先水平。
作者:宋春荣 赵建君 刘进 期刊:《兵器材料科学与工程》 2010年第04期
深紫外(DUV)相干光源对于光刻技术、激光微加工、激光光谱仪等均具有重要的意义。KBe2BO3F2(KBBF)晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体。通过数值计算,详细分析KBBF晶体的深紫外输出特性,包括KBBF晶体的折射率、相位匹配角、有效非线性系数、光波走离角、允许参量和转换效率等。结果对于KBBF晶体用于产生深紫外全固态激光(DPL)的实验研究提供重要的理论依据。