摘要：深紫外（DUV）相干光源对于光刻技术、激光微加工、激光光谱仪等均具有重要的意义。KBe2BO3F2（KBBF）晶体是目前唯一可直接倍频产生深紫外激光的非线性光学晶体。通过数值计算,详细分析KBBF晶体的深紫外输出特性,包括KBBF晶体的折射率、相位匹配角、有效非线性系数、光波走离角、允许参量和转换效率等。结果对于KBBF晶体用于产生深紫外全固态激光（DPL）的实验研究提供重要的理论依据。

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