摘要：微纳加工方法分为“自上而下”和“自下而上”两种基本类型。前者是目前广泛应用于微纳加工领域的主流技术,但其由于受到物理极限的制约,一般加工分辨率在几十纳米量级上。后者则可在更小的尺度（包括分子尺度）上实现加工,被认为是一种突破物理限制的有效途径。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
热门期刊服务
相关文章
影响因子：0.43
期刊级别：省级期刊
发行周期：月刊
期刊在线咨询，1-3天快速下单！
查看更多>
超1000杂志，价格优惠，正版保障！
一站式期刊推荐服务，客服一对一跟踪服务！
