首页 期刊 红外与激光工程 提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究 【正文】

提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究

作者:柯才军; 易新建; 赖建军 华中科技大学; 光电系; 湖北; 武汉; 430074; 华中科技大学; 图像处理与智能控制国家重点实验室; 湖北; 武汉; 430074
微透镜阵列   填充因子   ccd   反应离子刻蚀  

摘要:为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺.测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子.

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