摘要：高速、微细超精、重大型装备的精度检测是当前众多行业所关注的重大问题之一，英国雷尼绍公司继2007年推出轻巧型XL80激光干涉仪后，2009年又为RLE10／20光导纤维激光尺系统研发出16384细分的RSU10接口，使得在保证60m／min高速测量的基础上实现高达0．01nm的激光测量分辨率，为高速、微细超精、重大型装备的检测提供了系列稳定可靠的激光干涉测量方案。

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