作者:罗莹; 张志伟; 杨宁 期刊:《计量学报》 2015年第04期
介绍了调相信号的锁相解调技术基本原理以及利用集成锁相环NE564实现对信号的锁相解调。为了解调出不失真的波形,利用集成锁相环NE564和LM725CN芯片设计PM调制解调系统,可以直接实现信号的调制解调功能,利用相位能稳定跟踪的特点避免了频率失锁的缺陷,提高了测量精度。该系统具有操作简单、稳定性强的优点,并在激光外差干涉信号的解调中具有较强的实用性。
作者:孙士钦; 戴梦萍; 柳康 期刊:《红外》 2017年第11期
转轴的圆跳动对机床的加工性能具有重要影响。为了满足实时在线的高精度测量需求,提出了一种新颖高效的轴跳动激光相干测量技术。该技术采用稳定可靠的基于塞曼效应的He-Ne激光器作为光源,具有灵敏度高、输出信噪比高、精度高、探测目标作用距离远等优点。另外,通过光纤传输,其测量灵活性和抗干扰性得到了进一步提高,可以满足实时在线的远距离测量需求。实验结果表明,该系统的测量不确定度小于0.1%。
作者:钟志; 谭久彬; 陈洪芳; 单明广 期刊:《光电子激光》 2005年第07期
为了精确测量激光外差干涉非线性误差,提出了一种新的激光外差干涉非线性误差测量方法.通过对来自激光外差干涉测量臂的输出信号直接进行数据采集和频谱分析,分离出非线性误差的一次谐波和二次谐波分量,得到非线性误差相对测量信号之间的幅度比值;通过建立激光外差干涉非线性误差与幅度比值之间的模型,实现对激光外差干涉非线性误差的精确测量.实验结果表明,应用非线性幅度模型和频谱分析的方法能够精确地测量激光外差干涉非线性误...
作者:邓元龙; 孙秀泉; 吴玉斌 期刊:《物理通报》 2005年第10期
分析了大学物理实验中传统的消光式椭偏仪实验存在的问题,提出以一种新型外差式椭偏测量系统取代.结合塞曼激光外差干涉和反射式椭偏测量原理,给出了光学结构设计.系统中没有任何运动部件,也无需手动操作,实验过程自动化程度高,测量速度快.
作者:钟志; 谭久彬; 马洪文; 孙文法 期刊:《光学学报》 2005年第06期
为了精确地描述激光外差干涉在快速超精密测量中的位移测量,建立了激光外差干涉快速超精密测量模型.传统外差干涉测量模型采用舍去高阶误差的方法,便于分析与快速计算,但在快速纳米精度测量中,高阶误差已经影响到测量精度,根据多普勒频移公式,通过分析激光外差干涉的测量原理,在已有的激光干涉测量模型上增加了υ2/c的积分项,相当于将传统测量模型进行了高阶误差补偿.通过理论分析可知,当最高测量速度为1 m/s,运行位移为3 m时,该测...
作者:陈洪芳; 丁雪梅; 钟志; 谢站磊; 岳华 期刊:《光电子激光》 2007年第04期
根据外差干涉非线性误差的产生机理,建立了起偏器放置误差和相位延迟误差对非线性误差影响的理论模型,分别分析了起偏器放置误差和相位延迟误差对非线性误差的影响.仿真结果表明,起偏器放置误差引起的非线性误差为二次谐波,起偏器相位延迟偏离π/2会引起激光束的椭圆偏振化,引起一次谐波非线性误差,严重影响非线性误差的大小.当起偏器相位延迟误差为5°时,引起的非线性误差一次谐波达到4.40 nm.
作者:赵思维 严利平 杨涛 周砚江 陈本永 期刊:《浙江理工大学学报·自然科学版》 2011年第02期
描述激光外差干涉测量的原理,设计基于DSP的激光外差干涉信号处理方法,用DSP的捕捉单元获取参考信号和测量信号的上升沿时间差,在捕捉单元中断中计算测量信号周期,由DSP将时间差转化为相位差并得出被测位移。采用信号发生器模拟两路输入信号,在0~360°范围内进行相位差测量实验,测量结果表明标准偏差为0.041°、线性拟合相关系数为0.999 89。以20 nm为步长在0~320 nm范围内进行位移测量实验,实验结果表明标准偏差为2.46 nm、线性拟合...
作者:陈洪芳 钟志 丁雪梅 期刊:《北京工业大学学报》 2010年第06期
为了调整激光外差干涉光路中的光学元件,减小或抑制测量非线性误差,研究了非线性误差测量的机理和方法.基于对激光外差干涉测量信号的频谱分析,提出了非线性误差的测量方法.根据建立的非线性误差与测量信号幅度之间的模型,计算出非线性误差一次谐波和二次谐波的大小,实现非线性误差的精确测量.实验结果表明,该方法可以有效地测量激光外差干涉的非线性误差.