摘要：在概述微机电系统刻蚀工艺模拟研究进展的基础上,讨论了微表面反应模型法、单元自动控制法、基于刻蚀速率数据库的三维各向异性刻蚀模拟等典型的刻蚀工艺模拟的方法,综合分析了这些方法的特点、应用场合和不足,提出了提高刻蚀工艺模拟精度和效率的技术途径.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
热门期刊服务
相关文章
影响因子：0.21
期刊级别：省级期刊
发行周期：月刊
期刊在线咨询，1-3天快速下单！
查看更多>
超1000杂志，价格优惠，正版保障！
一站式期刊推荐服务，客服一对一跟踪服务！
