摘要：在半导体制造中,组合设备出现故障模块是晶圆质量受损的因素之一。考虑到晶圆重入加工工艺更复杂,研究了可重入双臂组合设备并行模块出现一个模块故障后的有效调度问题。建立了相应Petri网模型,描述了具有逗留时间约束和并行模块的双臂组合设备重入加工过程,并分析了系统稳态调度和暂态调度的时间特性,提出了系统稳态调度的有效算法;采用了虚拟晶圆的方式,提出了系统故障前稳态调度过渡至故障后稳态调度的有效运行控制策略,使系统稳态调度能够满足严格逗留时间约束;通过实例验证了该控制策略的可行性,证实了该策略能满足系统故障后的稳态调度,且晶圆损失降至最小。

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