摘要:根据高速精密X-Y工件台的工艺参数的特点,对高速精密定位X-Y工件台的动态精度进行分析,包括阶跃输入时间响应、频率响应、系统的动刚度kD的分析。并从结构及材料方面提出了使高速精密定位X-Y工件台达到良好技术性能指标的方法。
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