电子工业专用设备

电子工业专用设备杂志 部级期刊

Equipment for Electronic Products Manufacturing

杂志简介:《电子工业专用设备》杂志经新闻出版总署批准,自1971年创刊,国内刊号为62-1077/TN,是一本综合性较强的电子期刊。该刊是一份双月刊,致力于发表电子领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目:先进封装技术与设备、半导体制造工艺与设备、电子专用设备研究、专用设备维护与保养

主管单位:中国电子科技集团公司
主办单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所
国际刊号:1004-4507
国内刊号:62-1077/TN
全年订价:¥ 208.00
创刊时间:1971
所属类别:电子类
发行周期:双月刊
发行地区:北京
出版语言:中文
预计审稿时间:1个月内
综合影响因子:0.3
复合影响因子:0.19
总发文量:1954
总被引量:3109
H指数:17
引用半衰期:4.4773
立即指数:0.0219
期刊他引率:0.8286
平均引文率:4.1825
  • EUV光刻技术的挑战

    作者:程建瑞 刊期:2015年第05期

    光刻机的分辨率是基于瑞利分辨率公式R=k1λ/NA,提高分辨率的途径是缩短曝光光源的波长和提高投影物镜的数值孔径。目前主流市场使用的是193 nm浸没光刻机多曝光技术,已经实现16 nm技术节点的集成电路大规模生产。相对于193 nm浸没光刻机双曝光技术,极紫外(波长13.5 nm)光刻技术可以为集成电路的生产提供更高的k1,在提供高分辨率的同时拥有较大...

  • 激光加工中硅片晶圆的自动对准切割研究

    作者:张文斌 连军莉 谭立杰 雒晓文 刊期:2015年第05期

    针对激光加工设备在硅片晶圆切割过程中的效率提高问题以及客户需求,通过图像识别功能,研究并设计实现硅片晶圆的自动旋转校位与自动切割功能,提高了晶圆的切割效率,提升设备的自动化程度。

  • 一种激光直写式光刻光路系统

    作者:孙明睿 甄万财 刊期:2015年第05期

    针对曲面栅网器件的光刻工艺,提出了一种可动态调焦的激光直写式光刻系统,该系统将紫外激光器的光束经过整形扩束、动态z向调焦、x/y振镜、聚焦等单元使器件上相应位置涂覆的光刻胶直接感光,再经过显影、刻蚀等工艺直接制作出相应器件。它可以应用到一些精度要求不太高的平面或非平面器件的光刻加工工艺,取代传统的使用掩模版的光刻工艺或其它的...

  • 晶圆超精密磨削加工表面层损伤的研究

    作者:张文斌 高岳 张敏杰 刊期:2015年第05期

    介绍了晶圆减薄机的工艺过程和原理,研究了磨削工艺中砂轮粒度、砂轮进给率、砂轮转速和工作台转速对硅片表面层损伤深度的影响。

  • 2015年半导体市场购并热潮不减

    刊期:2015年第05期

    物联网(Io T)市场持续滚烫,以及3C产品越来越走向轻薄化的发展趋势下,半导体业者为了巩固市场优势,进一步补强既有产品线,纷纷采取购并策略,因而2014年开启的购并潮,预期至2015年将未有削减的趋势。根据资策会产业情报研究所(MIC)统计资料预估,受到终端个人电脑(PC)出货量大幅衰退,中国大陆智慧型手机首次呈现增长下滑,增长幅度低于预期的...

  • 离子注入技术与设备常见故障分析

    作者:曹健 刊期:2015年第05期

    介绍了离子注入技术的特点及其原理,在分析介绍其设备种类的基础上,简要概述了离子注入设备的基本结构,详细分析了影响注入工艺的各种因素,根据多年的设备维护经验,总结归纳了离子注入机的常见故障,并提出了各种故障的处理措施。

  • 中国国产半导体设备业将保持快速增长

    刊期:2015年第05期

    在全球每年高达近400亿美元的半导体设备市场,中国半导体企业的许多高端装备长期依赖进口。最近一年来,中国相继出台了三大扶持政策。专家表示,在政策推动下,2015年中国国产半导体设备业将保持快速增长。研究机构SEMI统计,2014年中国半导体设备市场规模为43.7亿美元,同比增长33.6%(全球增长为18%),占全球半导体设备市场的11.7%。

  • 工作台多维调整装置的设计与研究

    作者:任晓庆 刊期:2015年第05期

    概述了一种用于手动或半自动印刷机工作台的多方位调节装置,主要对其关键技术进行分析研究,并对其多方位调节机构的设计和原理作了叙述,阐述了一种全新的多方位工作台调节装置。既能满足太阳能行业的印刷机对工作台的调节功能要求,也能满足对套印精度和印刷精度以及调节方式和功能要求较高的厚膜电路印刷机工作台调节功能的要求。

  • OGS玻璃的强化工艺研究

    作者:陈婧 段青鹏 张君 张慧军 刊期:2015年第05期

    触摸屏玻璃表面必须非常平整光洁轻薄,但强度要高,透光性能要好。为了保证触摸屏玻璃的强度,从OGS玻璃的工艺制程入手,介绍了OGS玻璃生产过程中的一次强化和二次强化原理和方法,最后通过主要的检测方法验证了触摸屏玻璃的强度,解决了触摸屏玻璃薄而易碎的问题。

  • 高速冲孔单元设计

    作者:张志耀 杨卫 王海珍 刊期:2015年第05期

    在分析如何提高生瓷带打孔机打孔速度的基础上,论述了高速冲孔单元的实现途径;并通过与普通冲孔单元的试验数据对比,得出了高速冲孔单元各项指标均优于普通冲孔单元,达到了设计要求,高速冲孔单元的研制显著地提高了生瓷带打孔机的性能。

  • 静电对电子元件的危害及其防护措施

    作者:李斌 刊期:2015年第05期

    介绍了静电的产生过程及其对电子元件的危害,采用了从产品设计、加工、运输、贮存环节来预防与消除静电的有效方法,总结出了在电子产品生产过程中对静电防护的完整体系,从而降低了静电带来的损害,保证了产品的可靠性,提高了产品的质量与使用寿命。

  • 2014年我国电子专用设备行业经济运行分析

    刊期:2015年第05期

    2014年我国经济发展面临的国际国内环境复杂严峻。全球经济复苏艰难曲折,主要经济体走势分化。国内经济下行压力持续加大,多重困难和挑战相互交织。我国电子专用设备行业也遇到了市场有效需求不足与产能过剩矛盾相互作用,设备自主创新困难与转型升级问题的相互交织,发展也遇到了困难。

  • iNEMI 2015路线图预计MEMS的技术革新将带动下一代电子产品的发展

    刊期:2015年第05期

    作为领导全球电子行业的国际电子生产商联盟(i NEMI、电联盟),日前发表2015路线图,指出随着MEMS的生产技术革新,有助推动下一代电子产品的发展。由来自全球100多家电子公司组成的电联盟,每2年发表一份电子业路线图,今年已是第11版,预测直至2025年市场对电子产品的需要,并从中指引电子行业技术的发展方向和挑战,以便能满足市场的需要。

  • SMT综合成本下降25%?业界首创室温稳定型锡膏帮你做到

    刊期:2015年第05期

    智能设备、汽车电子、医疗电子……近年来电子行业热点不断,各种智能产品的普及推动了行业发展,但随之而来也不断压迫上游电子制造行业需要不断降低成本。如何压缩成本、保持利润,成为了众多制造商在行业大潮中制胜关键。而为了获得更低的成本,不少电子制造商也悄然降低了对原材料性能的要求,选择更为低价的品牌或是要求供应商提供低价版本的材...

  • 奥特斯销售额与盈利显著增长,年度业绩喜人

    刊期:2015年第05期

    全球领先的印制电路板(PCBs)制造商奥特斯再次刷新上一财年的业绩。受益于第四季度极其出色的发展势头,2014/15财年业绩显示,奥特斯销售额与盈利再创新高。资产、财务及盈利状况2014/15财年销售额上涨13.1%,达6.67亿欧元,几乎没有受到季节性因素影响,而通常第四季度的销售易受中国农历新年以及上海工厂停工期的影响。受益于移动设备及封装载板...