首页 期刊 电子工业专用设备杂志 2007年第10期
电子工业专用设备

电子工业专用设备杂志 部级期刊

Equipment for Electronic Products Manufacturing

杂志简介：《电子工业专用设备》杂志经新闻出版总署批准，自1971年创刊，国内刊号为62-1077/TN，是一本综合性较强的电子期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表电子领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：先进封装技术与设备、半导体制造工艺与设备、电子专用设备研究、专用设备维护与保养

主管单位：中国电子科技集团公司
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
国际刊号：1004-4507
国内刊号：62-1077/TN
全年订价：¥ 208.00
创刊时间：1971
所属类别：电子类
发行周期：双月刊
发行地区：北京
出版语言：中文
预计审稿时间：1个月内
综合影响因子：0.3
复合影响因子：0.19
总发文量：1954
总被引量：3109
H指数：17
引用半衰期：4.4773
立即指数：0.0219
期刊他引率：0.8286
平均引文率：4.1825
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分期目录

  • CMP工艺流程控制策略综述

    作者：Lakshmanan; Karuppiah; Bogdan; Swedek; Mani; Thothadri; Wei-yung; Hsu; Thomas; Brezoczky; Avi; Ravid 刊期：2007年第10期

    化学机械抛光测量技术和测量技术随着其工艺重要性的日益提高越来越成熟。测量技术在所有类型的化学机械抛光工艺流程控制中扮演了一个重要的角色，并且可以根据所使用的测量技术、其在工艺流程中所处的位置以及类型和产生的数据量以不同的方法实现。本文述评并提出了一些从现场、延伸的现场、综合的测量技术、以及其对工艺流程控制影响所普遍应...

  • 一种基于光学干涉原理的EMP在线终点检测装置

    作者：宋文超; 柳滨; 种宝春 刊期：2007年第10期

    化学机械抛光是晶片全局平坦化的关键技术，其中终点检测系统是影响抛光效果的关键。如果不能有效地检测抛光过程，便无法避免硅片产生抛光过度或抛光不足的缺陷。基于光学干涉薄膜测厚原理，给出了一种CMP在线终点检测装置。

  • CMP抛光机抛光盘温度的精确控制

    作者：种宝春; 柳滨; 宋文超 刊期：2007年第10期

    CMP的加工过程，是对晶圆表面进行平坦化的过程，在对晶圆表面材料进行去除当中产生了热量，造成温度的上升，为了获得均匀的抛光去除率，达到全局的平坦化，必须对温度采取精确控制，分析研究了CMP加工过程中热量的产生，并介绍了一种对温度进行控制的方法。

  • ULSI制备中多层布线导体铜的抛光液与抛光技术的研究

    作者：刘玉岭; 李嘉席; 檀柏梅; 梁存龙 刊期：2007年第10期

    提出了在碱性浆料中ULSI多层布线导体铜化学机械抛光的模型，对铜CMP所需达到的平面化、选择性、抛光速率控制、浆料的稳定及洁净度、抛光液成分的优化选择进行了实验研究。

  • ASML设立奖学金并任命新的中国区经理加强它在中国长期开展业务的承诺

    刊期：2007年第10期

    荷兰VELDHOVEN-2007年10月12日-ASML团公司今日宣布在中国的六所主要科技大学设立奖学金，并且任命一位半导体产业界的资深人士担任中国区经理，加强它在中国长期开展业务的承诺。奖学金的设立广泛地加强了ASML对培养新一代工程师的承诺，并且增加了在欧洲、北美和亚洲的现有奖学金名额和合作研究的项目。

  • 大陆晶圆代工实施新动作Q4估好戏连台

    刊期：2007年第10期

    由于大陆“十一五”计划将半导体产业视为重要指标，而大陆晶圆代工厂近期又动作连连，不是引进国外高阶经理人、资金技术，就是进行策略联盟，2007年的最后3个月，也许大陆晶圆代工业会有关键性的变化。

  • AVS验收四大IPTV设备商过关洋厂商集体缺席

    刊期：2007年第10期

    日前，信息产业部对AVS大连IPTV试点的验收中，四家IPTV系统设备商率先过关，但几家外国厂商均缺席，将对国内IPTV设备厂商格局产生重要影响。

  • Essemtec在苏州成功地举办SMT研讨会

    刊期：2007年第10期

    表面安装技术生产设备领导制造商Essemtec公司日前通过其在华SMART公司在中国苏州举办了一场为期4天的研讨会。

  • 非晶硅柔性薄膜太阳能电池项目落户天津市高新区

    刊期：2007年第10期

    据中国开发区信息网报道，天津津能投资公司与美国联合太阳能公司日前在津签署合资合同共同投资建设年产25MW柔性非晶硅薄膜太阳能电池项目。

  • 富士康投资30亿美元在南宁建设六大园区

    刊期：2007年第10期

    广西南宁市市长陈向群日前在接受记者采访时透露，该市与全球第一大电子制造商——富士康科技集团正式签订协议，由富士康投资30亿美元，在南宁建设六大园区，发展铝材深加工、电子信息、环保节能、新型材料等产业。

  • 全球华商高科技500强排定座次华为排第二

    刊期：2007年第10期

    200余来自海内外的“全球华商500强”、“2007全球华商高科技500强”上榜企业以及海外华商领袖今日齐聚广西北海，共商发展大计。

  • 日月光与恩智浦在苏州设立合资公司主营装配和测试业务

    刊期：2007年第10期

    全球最大的半导体封装测试厂日月光半导体制造股份有限公司及恩智浦半导体（由飞利浦创建的独立半导体公司）宣布针对今年2月初对外的封装测试合资项目，目前双方已完成合作事宜，合资的封装测试厂位于苏州，命名为日月新半导体。

  • 台积电购Atmel英国工厂机器设备产能或转松江

    刊期：2007年第10期

    台积电与中芯国际在大陆的竞争可能要走向“肉搏”了。前者正打算扩充松江厂产能，试图抢夺中芯国际在大陆的客户订单。

  • 台积电投入MEMS代工寻求全新发展商机

    刊期：2007年第10期

    据Digitimes报道，晶圆代工厂台积电近日又有新动作，内部已组成微机电（MEMS）小组，积极评估未来投入微机电元件代工的潜在商机。

  • 台研究机构3年内将推相变内存

    刊期：2007年第10期

    据国外媒体报道，一家中国台湾研究机构称，它将在3年内推出相变内存（PRAM），另一种与DRAM内存竞争的MRAM技术（磁性随机储存）也将在2008年底进入实用阶段。

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