摘要：静电就象细菌一样，看不见，摸不着。20世纪60年代，随着对静电非常敏感的MOS器件的出现，静电危害问题凸现出现了，到20世纪70年代静电问题越来越来严重。20世纪80—90年代，随着集成电路的密度越来越大，一方面其二氧化硅膜的厚度越来越薄(微米一纳米)，其承受的静电电压越来越低。另一方面，产生和积累静电的材料如塑料、橡胶等大量使用，使得静电越来越普遍存在，

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