首页 期刊 真空科学与技术学报 不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响 【正文】

不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响

作者:钟博扬; 王维; 李芳芳; 叶小球; 陈长安; 罗文华 表面物理与化学重点实验室; 江油621908; 四川大学原子与分子物理研究所; 成都610065; 中国工程物理研究院; 绵阳621907
真空漏孔   漏率   校准  

摘要:针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10^-6Pa·m^3/s的标准真空漏孔在使用H2、He、D2三种气体时,在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大小,并探讨了本底漏率对校准漏孔漏率的影响。结合粘滞流-分子流理论研究了不同气体和漏孔入口压力对漏孔漏率的影响。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

学术咨询 免费咨询 杂志订阅