摘要：目的:研究一款基于马赫-曾德干涉的光纤湿度传感器,并对其进行灵敏度分析。方法:采用光纤错位熔接方式获得马赫-曾德干涉结构,马赫-曾德干涉结构的错位区域长度为3.0 cm,错位范围为3~6.5μm,在此结构表面涂覆湿敏特性优良的明胶,表面明胶厚度约为1.8μm。结果:在湿度范围18.4%~83.4%内,该光纤湿度传感器的灵敏度最高可达0.124 nm/%RH。结论:与现有的光纤湿度传感器相比,具有灵敏度高、线性好、制备方便、体积小等优势,并在高低湿度环境内测量保持良好的稳定性,具有较好的应用前景。

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