摘要:提出了基于空间光调制器(SLM)的飞秒激光双模式双光子聚合加工方式。通过在空间光调制器上加载相应的全息图,可以实现焦点控制扫描加工和图形化曝光加工模式。这两种加工模式不但可以保证加工质量,而且能够提高双光子聚合加工的效率。采用这两种不同的模式,分别加工了里约奥运会会徽和不同形状的图案,验证了这两种加工方式在微纳加工领域的可行性。
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