摘要：运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属铜(Cu)表面实现了三维微图形加工，取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。采用规整的三维齿状结构为模板，在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对所刻蚀图案进行表征，证实CELT可用于金属表面三维微图形的刻蚀加工。

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