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研究提高纳米级硅薄膜传导性,结构表面重要性凸现

硅薄膜   纳米级   传导性   结构表面   摩尔定律  

摘要:摩尔定律预测,只需不断缩小芯片尺寸,芯片密度就能持续增加。但不幸的是,随着硅片层厚度缩小至纳米级,它们的电阻趋于增大,影响了密度进一步增加的效用,潜在阻碍了摩尔定律。威斯康辛大学研究人员偶然发现了扭转这一趋势的表面处理方法,使纳米级硅薄膜变薄时传导性更佳,从而将摩尔定律延伸到原子尺寸。

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