摘要：弹簧作为控制机件运动、缓和冲击或震动、贮蓄能量的基本机械零件，它的作用在微机电系统（MEMS）中不可替代。设计一种应用于MEMS的圆锥形微弹簧，通过有限元方法对圆锥微弹簧非线性接触状态下，所表现的弹性特性进行了计算，得到微弹簧弹性特性曲线，并对微弹簧的非线性特性进行了分析，结果表明圆锥弹簧的刚度具有明显的非线性。有限元计算结果与理论公式计算结果基本一致，说明了采用有限元方法的可靠性。这种方法的采用对于微弹簧的优化、设计与加工具有实际意义。

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