摘要：为了提高应力检测的灵敏度，提出了一种基于应力集中的新型压阻式微悬臂梁设计方法．首先，通过在硅基悬臂梁上加工出一些条缝结构作为应力集中区域，利用应力集中效应来提高应力检测的灵敏度，并在梁上沿硅的（100）面〈110〉晶向布置4个压阻元件组成惠斯通电桥来进行应力检测．其次，用有限元法分析了不同参数的孔缝结构对应力分布的影响．结果表明，与传统的无应力集中区域的微悬臂梁结构相比，可以有效提高应力检测的灵敏度．当参数优化后的微悬臂梁尺寸为500μm×180μm×10μm，缝结构尺寸为50μm×20μm时，应力检测的灵敏度可以提高2．68倍．

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社