首页 期刊 机械与电子 基于AFM的Si纳米结构的加工 【正文】

基于AFM的Si纳米结构的加工

作者:吴雄喜; 杨林军 浙江工业大学,浙江杭州310014
纳米加工   硅纳米结构   原子力显微镜   阳极氧华  

摘要:介绍了通过使用原子力显微镜,在H钝化Si(100)的表面局部阳极氧化反应的表面氧化图案上刻写的纳米级Si结构加工.这种氧化图形可被用作Si的可选择性蚀刻工艺的掩膜.带有临界特性的小到30 nm的边门Si场效应晶体管也通过这种方法加工.

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