摘要:Zno薄膜因为具有发光波长短,耐高温的性质而逐渐被科学界所关注,而磁控溅射制备ZnO-TFT的方法又是目前最为广泛,被大家所认可的技术之一。本文将介绍在磁控溅射制备存在的影响因素,以及对所得ZnO薄膜衬底材料的一些分析。
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