首页 期刊 光学仪器 基于AFM的光盘形貌研究 【正文】

基于AFM的光盘形貌研究

作者:孙大许; 刘万里; 马强; 闫勇刚 河南理工大学精密工程研究所; 河南; 焦作; 454003
光盘   凹坑   检测  

摘要:介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点.用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测,并对测量结果进行了分析.结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势.

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