摘要：设计了一种新型ZnO微气体传感器的结构，利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析，并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化，结果得出：当传感器基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为10，140和150μm，加热电极和测量电极宽度均为30μm，加热电极的间距为100μm，此时传感器的ZnO材料工作区域可获得最佳的温度分布和磁场分布，有利于传感器整体性能的提高。

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