【免费】电子陶瓷薄膜材料的集成及应用-发表之家

电子陶瓷薄膜材料的集成及应用

作者：赵岚; 张道礼; 徐建梅; 姜胜林华中科技大学电子科学与技术系; 湖北; 武汉; 430074; 华中科技大学电子科学与技术系; 湖北; 武汉; 430074; 中国地质大学材料与化学工程学院; 湖北; 武汉; 430074

电子陶瓷集成微电子器件薄膜材料

摘要：阐述了近几年来国内外关于电子陶瓷材料的集成研究状况及发展趋势,指出了电子陶瓷薄膜材料的产品在诸多领域的重要应用.对电子陶瓷材料与微电子器件的集成,以及电子陶瓷在微传感器和MEMS中的应用情况作了重点介绍.

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