电子工业专用设备杂志 部级期刊
Equipment for Electronic Products Manufacturing
杂志简介：《电子工业专用设备》杂志经新闻出版总署批准，自1971年创刊，国内刊号为62-1077/TN，是一本综合性较强的电子期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表电子领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：先进封装技术与设备、半导体制造工艺与设备、电子专用设备研究、专用设备维护与保养
杂志简介：《电子工业专用设备》杂志经新闻出版总署批准，自1971年创刊，国内刊号为62-1077/TN，是一本综合性较强的电子期刊。该刊是一份双月刊，致力于发表电子领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：先进封装技术与设备、半导体制造工艺与设备、电子专用设备研究、专用设备维护与保养
作者：王海明 刊期：2018年第02期
总结了化学机械抛光技术在当前纳米集成电路工艺流程中的实际应用,分析了存在的问题和挑战,以及CMP的发展趋势;同时充分评估了CMP在纳米集成电路制造中的关键作用,以及掌握其核心技术的战略意义。
作者：岳永杰 刊期：2018年第02期
对光伏产品市场供应现状、需求、价格和风险等进行了分析及预测。
作者：彭兴文; 卢丹丹 刊期：2018年第02期
针对用户提出的电子工艺设备技术性能指标内容不完整、不清晰、不准确,导致设备不能与工艺技术及使用环境要求完全匹配现象,对电子工艺设备技术性能指标提出方法及内容进行了研究,结合多年的实践经验,从正式提出电子工艺设备技术性能指标前的准备工作、技术性能指标构成要素、各要素的关键点、详细技术性能指标的表现形式等方面,给出了方法和技...
作者：林佳; 王海明; 郭强生; 刘晓斌; 周丹 刊期：2018年第02期
针对准确和实时检测裸片表面缺陷的需求,提出了一种基于线性判别分析（Linear Discriminant Analysis,LDA）和支持向量机（Support Vector Machine,SVM）的在线检测算法。首先,采用高斯滤波方法滤除裸片表面图像中的噪声;然后,提取裸片表面缺陷的Hu不变矩和方向梯度直方图（Histogram of Oriented Gradients,HOG）特征,采用LDA方法对特征进行降...
作者：梁杰 刊期：2018年第02期
从键合过程分析、硬件电路实现和动态补偿等方面简要介绍了一种基于动态补偿原理的超声波发生器。对于提高键合推拉力强度、改善键合工艺的一致性具有重要意义,保证了封装器件以及模块的可靠性。
作者：董军恒; 李聪 刊期：2018年第02期
研究了变速切割及不同环境温度下定速切割对锗片翘曲度的影响。结果表明：锗单晶因其热学性能较差,在切割过程中降低热量导入晶体、提高晶体热量的导出是决定锗晶片翘曲度的重要因素;采用180μm/min定速切割的锗晶片翘曲度要比采用Si单晶与Ge单晶热学工艺变速切割锗片的翘曲度小6~7μm;环境温度越低,热量导出速度越快,切割的锗晶片翘曲度越小,当环...
作者：王玲玉 刊期：2018年第02期
归纳总结了单晶硅片表面玷污杂质的来源和分类、清洗检验的工艺和清洗检验的设备,并对单晶硅清洗检验的发展趋势进行了分析。
作者：刘国敬; 刘宇光; 贺东葛; 刘婷婷 刊期：2018年第02期
为满足碳化硅材料的磨削要求,根据碳化硅材料的性能,研究了磨削工艺,并针对磨削中出现的技术难题,采取了油石在线修整的磨削工艺措施;试验结果表明使用树脂结合剂的金刚石砂轮和油石在线修整的磨削工艺,选择适合的磨削工艺参数可以达到对碳化硅材料磨削工艺要求,并取得了较好的实验效果。
作者：曹玲 刊期：2018年第02期
论述了锗晶片的表面氧化机理及锗晶片表面清洗的不同方法,其中,锗晶片的清洗主要包括干法清洗和湿法清洗两种,不同清洗方法对锗表面的影响采用了XPS,AFM进行了表征。并对未来锗清洗技术的发展进行了展望。
作者：雷宇 刊期：2018年第02期
根据步进投影光刻机的基本原理及其基本结构,分析了影响投影光刻工艺的主要因素。根据多年对设备的维修经验,总结了ASML步进投影光刻机的常见故障并给出了相应的解决方法。
作者：李燕玲; 刘洋 刊期：2018年第02期
针对晶圆自动传输过程中,片盒内卡槽中空片、双片现象,导致晶圆自动传输失败,给出了晶圆自动扫描、自动识别晶圆存放状态的算法,并通过具体实验数据分析,确定了该算法的可行性。
作者：卫晓冲 刊期：2018年第02期
通过介绍石英舟载体的独特性,提出了其上下料机的设计要点,介绍了该上下料机的技术参数和工艺流程,详细分析了设备的各部分结构设计,说明了设备的相关配套功能。
作者：张武学; 严雪冬 刊期：2018年第02期
通过对印刷机构关键部件进行结构分析,改进了印刷刮条和涂墨刮板的设计及安装,提高了印刷机印刷图形的稳定性,保证了印刷机印刷图形的质量
作者：肖方生 刊期：2018年第02期
介绍了多层生瓷片的热切过程,分析了热切对于机器视觉定位的要求,论述了机器视觉方案设计和定位的误差分析与补偿、定位计算,实现了多层生瓷片的高精度快速热切。
作者：王勇威; 张伟锋; 刘盈楹; 胡天水; 王丽江 刊期：2018年第02期
甩干机是半导体加工工艺中的关键设备,在甩干机高速运行过程中,由于转子系统的偏心所产生的离心力将导致设备振动。为将振源隔离,提高设备可靠性,对整机的振动情况和振动传递路径进行了分析,再通过分析隔振理论及橡胶减振器的性能特征,最后为某型甩干机选取合理的橡胶减振器参数;通过实验测试表明其隔振效果达到了预期要求。
影响因子：0.46
期刊级别：北大期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.47
期刊级别：部级期刊
发行周期：半月刊
影响因子：0.75
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
影响因子：2.51
期刊级别：CSSCI南大期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.69
期刊级别：省级期刊
发行周期：双月刊
影响因子：0.91
期刊级别：统计源期刊
发行周期：半月刊
影响因子：0.18
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.96
期刊级别：省级期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.43
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.27
期刊级别：省级期刊
发行周期：月刊
影响因子：0.73
期刊级别：部级期刊
发行周期：半月刊
影响因子：0.59
期刊级别：部级期刊
发行周期：半月刊