摘要：介绍了一种应用于毫米波晶圆级集成基于Si‐BCB工艺的Ka波段双模带通滤波器。微带线结构的全波长谐振器具有低辐射特性，全波长环形阶跃阻抗谐振器（step impedance resonator ，SIR）有两种正交谐振模式，可以减小滤波器尺寸。通过对基于环形谐振器的双模滤波器进行奇偶模分析，确定谐振器的设计参数。采用宽边耦合结构设计输入输出端口，具有高耦合度。仿真结果表明中心频率35 GHz ，通带内插损1．2 dB ，回波损耗优于30 dB ，BW3 dB为15％。最后，采用Si‐BCB工艺制作滤波器并完成测试。测试结果为中心频率33．3 G Hz ，通带内插损1．17 dB ，回波损耗优于30 dB ，BW3 dB为18％。测试结果与仿真结果基本吻合。

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