摘要：微波谐振腔的谐振频率随腔内介质的介电常数变化而发生偏移。当湿蒸汽流过微波谐振腔时，通过检测谐振腔谐振频率的偏移可以得到湿蒸汽的介电常数，由介电常数和蒸汽湿度的关系，进而确定蒸汽的湿度，频率测量的精度直接影响蒸汽湿度测量的精度。介绍了一种多周期同步与量化延时短时间间隔相结合的频率测量方法，在MSP430单片机的控制下完成宽频率范围内的等精度测量，消除了被测信号±1计数误差，使测量精度达到10e-7，满足蒸汽湿度测量精度的要求。给出了频率测量的硬件原理图，并利用可编程序逻辑器件CPLD来实现，使设计简单，集成度高，可靠性强。

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