摘要：针对亚纳秒脉冲高电压信号的测量需求，研究了基于Maeh—Zenhder干涉结构的集成光学电场传感器。分析了晶体电光效应与M-Z干涉结构的基本原理，设计了传感器的铌酸锂电光晶体衬底与镀金电极结构。计算了传感器的灵敏度、频率响应、量程等输入输出性能，并设计了用于标定传感器特性的测试系统。
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