摘要：半导体的噪声成分估计是利用噪声进行器件可靠性筛选的前提条件.为此,组建了一套基于虚拟仪器的半导体噪声测试系统.在应用该系统对大量的光电耦合器件(OCD)进行测试基础上,提出了采用LabVIEW对实测噪声功率谱进行噪声成分估计及参数拟合的新方法.该方法的特点是不需要被测器件低频噪声的先验知识,为改进OCD及其他半导体器件的生产工艺和提高器件的可靠性提供了指导性的数据.

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