摘要：传统的微机电系统(MEMS)微陀螺仪解调算法抗噪声能力差、硬件资源消耗多,提出了一种同步积分解调算法(SID),用于MEMS陀螺闭环测控电路中,实现了驱动/检测信号解调输出。三阶同步积分器构成解调器。仿真分析表明:SID具有更快的响应时间,更低的噪声水平,硬件资源消耗更少。基于SID算法,建立了MEMS陀螺数字闭环测控系统,驱动闭环中锁相环技术和自动增益控制技术实现陀螺恒幅恒频谐振,检测闭环中高阶带通ΣΔ环路滤波器提高了陀螺带宽和响应性能。仿真结果表明:陀螺驱动振幅为4.738μm,起振时间为0.12 s,检测带宽为200 Hz,信噪比达到了113.2 d B。

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