摘要：采用真空热沉积法,通过Ar气体保护和调整陶瓷基底与蒸发源的距离,在陶瓷基底上制备出可室温工作的两种不同粒径大小的Cu Br NH3传感器。材料表征结果显示,所制备的Cu Br是平均粒径约为4μm和2μm纯相材料。对不同粒径Cu Br传感器进行0.5ppm~10ppm的NH3测试,结果表明,对于10ppm的NH3,2μm粒径传感器的灵敏度比4μm粒径传感器的灵敏度高出3倍,也比一些以其它方法制备的Cu Br传感器、半导体和聚合物传感器具有更高的氨气灵敏度,而且6s/25s的响应/恢复时间也比它们高2~3个数量级。2μm粒径Cu Br NH3传感器的高灵敏和快响应归因于敏感材料Cu Br的小粒径和多孔性。

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