摘要：为了解决硅片厚度在0.1 mm以下时,激光传感器扫描检测容易发生硅片漏扫的问题,提出一种基于 OpenCV的硅片层级分布定位检测方法,利用图像预处理技术得到各层级硅片前边缘轮廓样本库,将测试图像的边 缘轮廓与样本库中的图像依次做差值运算,从而通过像素点总和是否达到规定阈值来判定该层是否存在硅片,从 而达到硅片层级分布定位检测的目的. 结果表明：该方法能够有效提髙硅片盒中0.1mm以下硅片层级分布定位检 测的可靠性,且算法简单,实时性及兼容性较好.

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