首页 期刊 半导体技术 基于T861测试系统的皮安级漏电流测试方法 【正文】

基于T861测试系统的皮安级漏电流测试方法

作者:韩先虎; 张凯虹; 王建超; 郭晓宇 中国电子科技集团公司第五十八研究所; 江苏无锡214035
模拟开关   t861   漏电流   adg436  

摘要:目前模拟开关的漏电流已达到皮安级,而传统的模拟集成电路测试系统的最小测量精度一般为纳安级,无法满足测试要求。研究了基于宏邦T861数模混合集成电路测试系统的皮安级漏电流测试方法。以ADG436型模拟开关电路为例,利用I-V转换方法设计了基于T861测试系统的漏电流测试方案,实现了基于测试系统对模拟开关皮安级漏电流进行测试。与使用安捷伦B1500A对ADG436电路的漏电流测试结果进行了对比,两者一致性较好。实验结果表明,基于T861测试系统的I-V转换方法测试模拟开关的漏电流具有较高的测量精度,能够满足ADG436型模拟开关的皮安级漏电流测试需求。

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