首页 期刊 中国高新科技 设备综合效率在半导体测试设备管理中的应用研究 【正文】

设备综合效率在半导体测试设备管理中的应用研究

作者:张雷 中芯国际集成电路制造上海有限公司; 上海201203
设备管理   设备综合效率   半导体测试   fmea  

摘要:集成电路制造的生产工艺对设备和环境要求极高。文章将设备综合效率(OEE)理论运用到集成电路测试设备管理中,通过对OEE各项指标的分析与改善,实现设备产能的提升。

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