摘要：介绍了一种小型高性能的高通滤波器，该高通滤波器利用两层硅片来实现悬置带线的结构，采用立体布线和通孔的方式来接地，运用HFSS三维电磁场仿真软件设计出了一款截止频率为7．6GHz的MEMS高通滤波器，运用MEMS工艺在两层硅衬底上进行了样品的研制。样品取得了良好的测试结果，其中通带内的插入损耗小于1．2dB，通带回波损耗小于10．9dB。

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