摘要：微机电系统是一个独立的智能系统,以微电子技术为基础,融合了光刻、腐蚀、硅微加工等技术。目前,在微电系统设计中还存在多学科交叉问题以及设计周期较长的问题,影响了微机电系统的设计效率。笔者阐述了微机电系统的研究背景,并介绍了微机电系统的相关内容,总结了微机电系统设计过程中的关键技术。
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