机械工程学报杂志 北大期刊 CSCD期刊 统计源期刊

下一代光刻技术——压印光刻

作者：丁玉成; 刘红忠; 卢秉恒; 李涤尘 刊期：2007年第03期

通过分析集成电路制造工艺中的核心环节——光刻技术，采用机械微复形原理的压印光刻技术可避免传统光学光刻的光学衍射限制，能够对最小到6nm特征尺寸的图形进行复制。通过研究压印光刻原理，详细分析对比热压印及常温压印的工艺特点、复形面积、模具结构和阻蚀胶固化过程等，揭示出常温压印更适用于多层套刻的图形制作。针对基于紫外光固化的...

产品设计中的感性意象理论、技术与应用研究进展

作者：罗仕鉴; 潘云鹤 刊期：2007年第03期

感性意象是工业设计中的一种重要研究方法。通过对国内外相关文献的综述，论述产品设计中感性意象的有关概念，分析感性工学、意象尺度、基于用户知识与设计知识的设计研究等理论体系，探讨感性意象的研究方法、关键技术及其在工业设计中的应用。针对工业设计与信息技术的发展，提出感性意象的研究热点和发展趋势。

被动式动力吸振技术研究进展

作者：刘耀宗; 郁殿龙; 赵宏刚; 温熙森 刊期：2007年第03期

综述被动式动力吸振技术的研究概况及其发展。根据结构特点和参数形式将动力吸振器分为单自由度型、组合型、多自由度型、连续参数型和非线性参数型等几种类型，针对其安装于不同主振系、在不同激励下的优化设计问题，总结归纳前人的相关研究成果，梳理当前的研究进展，并提炼今后的发展方向。目前用来抑制主振系单个振动模态的单自由度动力吸振...

迷宫密封—转子系统动力学特性的试验测量和数值模拟

作者：王炜哲; 刘应征; 叶春; 忻建华; 陈汉平; 荆建平; 葛庆; 袁鹰 刊期：2007年第03期

针对迷宫密封内作涡动旋转的转子承受腔室内周向不均匀压力，从而导致振动特性发生变化的问题，通过建立迷宫密封一转子试验台，对密封进出口压比分别为1．5、3．0、6．0和7．0下的密封腔室内气流流动和转子振动特性进行同步试验测量，并基于振荡流体力学原理进行数值计算分析。通过对定转速条件下的密封齿腔平均压力、脉动压力周向分布以及转子...

制造协作组织形成过程不确定性任务性能参数的区间优化

作者：郝京辉; 李红军; 孙树栋; 沙全友 刊期：2007年第03期

针对制造协作组织形成过程中产品制造任务的优化问题，提出制造任务逆向优化过程模型，进一步形式化描述制造任务性能参数的逆向优化过程，构建任务性能参数优化的一般数学模型。针对不确定性制造任务性能参数，探讨不确定性制造任务性能参数的处理方法，建立逆向优化过程中区间矢量的距离模型，从而确定制造任务性能参数的区间优化模型。利用基...

矩形微流道内电渗流影响因素的数值模拟

作者：张鹏; 左春柽; 周德义 刊期：2007年第03期

针对电渗泵的设计参数优化问题，建立电渗驱动流的数学模型，应用有限控制容积法对矩形流道断面上双电层场和速度场的耦合控制方程进行数值求解。详尽分析流道断面深宽比、流道当量直径、电解质溶液浓度和外加电场强度对电势、速度和流量的影响，并给出电渗流量和平均速度与影响因素之间的拟合公式。仿真结果表明：流量随流道深宽比的增大而减小...

求解磁头／磁盘超薄气膜润滑性能的有效有限差分算法

作者：黄平; 许兰贵; 孟永钢; 温诗铸 刊期：2007年第03期

首先给出超薄气膜润滑的基本方程。通过对方程的分析指出，在纳米尺度下工作的磁头／磁盘具有轴承数很大和剪切流项含有压力的两个特点。提出对剪切流项进行主元迭代求解可压缩气体雷诺方程的新计算方法。在推导出该方法所用的差分公式和误差分析公式基础上，利用这些公式对双轨和多轨两种磁头在5nm和10nm下工作压力分布进行计算。计算过程表明...

《机械工程学报》被EI收录论文目次（2006年第7期）

刊期：2007年第03期

基于泛函的涡旋型线共轭啮合理论

作者：王立存; 陈进; 李世六; 何景熙 刊期：2007年第03期

在涡旋压缩机涡旋型线设计研究中，针对单一涡旋型线受其固定数学模型固有特性的限制，并研究出通用涡旋型线的共轭啮合特征型线，分析平面曲线的啮合理论，研究共轭啮合型线的解析包络原理。对可取函数类基于泛函的涡旋型线的共轭啮合特性进行研究，建立基于泛函的涡旋型线的笛卡尔坐标表达式及其共轭型线的啮合条件，推导出基于泛函的涡旋型线...

基于灰色系统理论的方盒件拉深稳健设计

作者：谢延敏; 于沪平; 陈军; 阮雪榆 刊期：2007年第03期

利用灰色系统理论，以目标序列之间的关联度作为目标函数，将多目标优化转化为单目标优化问题。在板料成形的稳健设计中，通常需要满足多个目标，如不拉裂、不起皱、变形充分等质量要求，而且要满足响应波动减少的要求。对成形中可控因子进行试验设计，利用有限元分析软件获得拉深成形中各个目标对应的响应值。对计算获得的目标序列灰色关联度进...

中碳钢疲劳试验的磁记忆检测

作者：尹大伟; 徐滨士; 董世运; 董丽虹 刊期：2007年第03期

金属磁记忆检测技术是无损检测领域新兴的检测手段，由于其具有独特的检测理念，被期望能够在铁磁性金属构件早期损伤阶段即进行准确的无损检验工作，但是该技术仍处于发展初期，需要开展大量基础性研究工作来探究其机理和应用范围。通过不同加载方式的疲劳试验，研究疲劳载荷作用下中碳45钢试件磁记忆信号的变化情况。研究表明：指定疲劳方式下...

整体式空间3自由度精密定位平台的优化设计与试验

作者：王华; 张宪民 刊期：2007年第03期

根据柔顺薄板的弹性变形原理，设计一种整体式空间三自由度柔顺并联微动平台。分析该平台的输入耦合特性，对三种输入耦合形式对定位精度的影响进行讨论。基于有限元法，给出平台的刚度模型，对平台的结构尺寸进行优化设计，并通过ANSYS仿真分析验证优化结果的正确性。在此基础上进一步建立平台的位置正解和位置逆解方程，对平台的定位精度进行...

支持设计过程仿真的逻辑迭代结构模型及其仿真

作者：郭峰; 武建伟; 潘双夏; 冯培恩; 江伟光 刊期：2007年第03期

针对现有设计结构矩阵不能完整地表达产品开发过程中存在的复杂信息迭代关系，从而造成基于该模型的开发过程仿真结果的不确定性大和开发过程时间的控制难、导致产品开发计划延误的缺陷，提出一种有利于表达产品开发过程中复杂信息迭代关系的逻辑迭代结构树模型，将过程中迭代间所具有的逻辑关联作为过程模型中的重要迭代规则，以改进传统模型中...

曲率测量技术在微机电系统薄膜残余应力测量中的应用

作者：虞益挺; 苑伟政; 乔大勇 刊期：2007年第03期

在比较曲率测量技术常用的stoney公式及其修正式的基础上，利用有限元分析方法，建立薄膜/基底结构的有限元模型，给出一种薄膜残余应力的等效施加方法，从两个方面详细分析并对比这两个公式在微机电系统（Micro electromechanical systems，MEMS）薄膜残余应力测量中的检测精度。仿真及分析结果表明，修正后的Stoney公式在很大程度上提高薄膜残...

高频纵向超声导波在埋于无限大介质中钢杆的传播特性

作者：何存富; 孙雅欣; 王秀彦; 张青; 刘增华; 吴斌 刊期：2007年第03期

从理论上分析高频纵向超声导波在埋于无限大介质中钢杆传播的特性。根据在杆状波导中传播的超声波具有频散现象及多模态特征，选择特定频率下的单音频信号激励超声导波，使其衰减最小，能传播较长距离：能量速度最大，最先到达，从而可与其他速度较慢的模态相区别。说明此频率下的纵向模态可用来对埋于介质中的钢杆进行检测。同时建立试验系统，...