首页 期刊 集成电路应用 计算光刻驱动DFM的拥有成本 【正文】

计算光刻驱动DFM的拥有成本

作者:Chades; Albertalli; Tom; Kingsley; Mentor; Graphics
光刻   计算   dfm   成本   驱动  

摘要:45和32nm节点的可制造性需要新的策略。计算光刻提供了为设计流程定义解决方案的方法。

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