摘要：以大型半导体制造企业为应用背景,应用在线设备监测系统TFM,对生产中心的生产设备运作信息进行实时集成和同步反馈,实现设备运行状态数据的显示、设备维护计划的查询和决策、设备生产效率的比较分析。把反映生产设备运行状态的动态数据提炼为形象直观的分析图形,实现可视化信息管理,提高生产中心现场设备管理水平。

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