摘要：提出一种基于激光偏振光差动像散原理的非连续曲面绝对跟踪检测方法与技术.该方法依据被测表面反射到位于两柱面镜焦面、焦后等距放置的两探测器上的偏振光的形状,再经两探测器探测信号差动相减和光强归一化处理得到聚焦误差信号,进而达到对非连续三维被测表面的绝对测量和触发瞄准.偏振光差动像散传感器中,由于引入偏振光入射和偏振分光镜分光,使构成的偏振光差动像散检测技术有效抑制光源波动、光学器件间光束的多次反射等对测量结果的影响,显著改善了差动像散离焦检测技术的抗干扰能力和线性.该光学传感器的测量范围为±10 μm,分辨力优于0.005 μm,可测表面倾角达20°.

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社